實驗室供氣系統管道安裝規范

實驗室供氣系統管道安裝規范

滿足不同實驗的要求和安全性。雙瓶采用匯流排供氣設備，具有手動、半自動和全自動切換功能，并設有低壓報警裝置，實時監控氣壓、濃度檢測報警和排氣，確保客戶正常用氣和生命財產安全。

　　氣路系統常用設備

　　鋼瓶(氣體壓縮機)、鋼瓶固定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、金屬軟管、半自動開關裝置、一級減壓器、二級減壓器、焊接三通、焊接大、小封頭、夾緊套筒閥、不銹鋼管(BA)、壓力表、可燃有毒氣體監測報警裝置等。

　　實驗室集中供氣系統技術要求

　　、氣瓶存放室

　　氣瓶之間應采用300毫米厚的實心墻，安裝防爆門，設置防爆窗

　　室內電氣設備應具有防爆功能

　　應安裝排氣扇，隨時保持良好的通風狀態

　　供氣系統需要兩級減壓供氣。供氣匯流排減壓。氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa，然后輸送到每個氣體使用實驗室。二級減壓器安裝在每個用氣實驗室或用氣點，便于對通風柜或儀表的氣體輸送壓力進行統一控制。用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器。二級減壓器精確調節壓力(0.01兆帕)，獲得穩定的壓力，可以滿足儀器對不同使用壓力的要求。一級減壓器和二級減壓器均配有壓力表，可實時顯示當前壓力。

　　、采用雙側匯流排半自動方式連續供氣，實驗室使用要求。更換氣瓶時，可以通過安裝在高壓軟管下方的夾緊套更換氣瓶

　　、氫氣和乙炔是。應設計氣體泄漏檢測和報警裝置，并安裝阻火器，以防止明火回流。應確保放置易燃和助燃氣體的足夠安全距離。

　　實驗室高純氣路布局

　　高純氣體管道系統的布置不同于普通氣體管道。一般來說，要求管道不要太長，不要有死角，如不容易吹干凈的“盲管"。主管或支管的末端應提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續使用的用戶中，讓少量氣體在管道末端連續排出，從而管道中的氣體將正常流動，避免出現“死區"。根據工藝氣體的質量要求，必要時應設置終端凈化裝置。一般來說，控制閥、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀器等。進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于統一管理和控制。

　　高純氣路管道及管道附屬材料:高純氣體管道輸送管道應根據工藝對氣體純度、允許雜質含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應質量的管道。例如，半導體工業不僅需要清潔的生產環境，而且由于其復雜的生產過程和精細加工，對生產過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴格的要求。從微米技術到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術，對氣體中雜質含量和水分含量的要求非常嚴格，10-6 (ppm級)不能滿足要求。需要達到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級)，粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

　　管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道，影響氣體質量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。

　　供氣系統管道安裝要求

　　、管道敷設應符合設計要求，設計沒有要求時，干氣管道應水平安裝;輸送濕氣的管道應安裝坡度不小于0.003，坡度應朝向冷凝水收集器。

　　管道采用焊接連接，鎢極氬弧焊打底，手工電弧焊覆蓋。不銹鋼管焊接或點焊應采取充氬保護措施

　　氣體管道和設備、閥門和其他附件應通過法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的填料必須是聚四氟乙烯薄膜

　　、氣體管道穿過潔凈室時，法蘭墊片或螺紋填料的外露部分，必須清理干凈

　　氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無縫鋼管時，必須采用集中安裝方式，安裝應在48小時內分段組合，氮氣保護，填充壓力不小于0.2兆帕

　實驗室供氣系統管道安裝規范